≥0.5μm

≥5μm

Ⅰ

3500

0

0.2个/30min.φ90皿（5个/m3）

100

Ⅱ

35000

300

0.4个/30min.φ90皿

（10个/m3 ）

1000

Ⅲ

350000

3000

1.5个/30min.φ90皿

（50个/m3 ）

10000

Ⅳ

3500000

30000

4个/30min.φ90皿

（150个/m3 ）

100000

Ⅴ

10500000

90000

5个/30min.φ90皿

（175个/m3 ）

300000